纳米真空互联实验站是由中科院、江苏省、苏州市及苏州工业园区四方共同投资的重大科技基础设施，一期小型验证装置自2014年立项以来，经过五年多的努力，于2018年5月搬入新实验大厅。经过近一年的紧张安装调试，该装置已经达到预期的验收指标，并进入一期项目验收期。2019年3月28日通过工艺专业组验收、4月2日通过档案专业组验收，即将迎来一期项目总体验收。