品名

X射线光电子能谱仪

型号

PHI 5000 VersaProbe II

制造商

ULVAC-PHI

主要功能

XPS可以用来测量：

1. 元素的定性分析：可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。

3. 元素的定量分析：根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。

5. 固体表面分析：包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。

7. 化合物的结构：可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。

技术指标

单色化AlKαX射线源：最小束斑不大于10 μm，且可在不大于10μm束斑下，实现图谱采集，化学态成像，深度剖析，以及变角分析。

五轴马达样品台（X、Y、Z移动，倾斜及旋转）

成像XPS：快速成像，最佳空间分辨率优于10 μm

角分辨功能：满足不小于±90°角分辨分析，变角精度好于1°。

荷电中和系统：电子束离子束双束中和，对于PET标样，样品满足PET中O-C=O半峰宽小于0.85eV。

离子枪：Ar离子能量最大不低于5000 eV，最大离子束斑不小于10mm × 10mm

团簇离子枪：团簇离子枪模式工作气体为氩气，最大加速电压20kV。

加热制冷装置：至少可实现最高500ºC加热以及最低-120ºC制冷

紫外光电子谱（UPS）。

设备现状

正常

收费标准

600元/小时或面议

管理员

卢荻

联系方式

0512-62872899

设备照片