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SN201512393 非接触式光学测量仪
2017-03-07| 文章来源: | 【

品名

非接触式光学测量仪

型号

ZIP 250

制造商

(如实填写)

主要功能

测量微纳米器件尺寸、角度及位置等信息,从而可以实现对微纳米器件结构参数的测试分析。

技术指标

1)仪器测量精度:XY方向: E2=(1.8+6L/1000) mZ方向: E1=(2.5+5L/1000) m

2)测量范围: 250mm x150mm x200mm (XYZ)

3)机器净重: 120kg

4)被测工件最大重量: 25kg

5)光栅尺的分辨率: 0.1m

6)像素分辨率: 0.5 m

设备现状

完好

收费标准

不对外

管理员

林光慧

联系方式

0512-62872820

设备照片




 
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