所属部门：印刷电子学 

　　管理员： 张东煜 

　　联系电话：2730 

　　主要用途：电学性能测试辅助用。 

　　主要指标：盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，最大能够吸住尺寸为6"X6"；X-Y方向移动范围为6"X6"，移动精度为10μm；探针台台面平整度：5μm；目镜倍率: 20X，物镜倍率有: 2X、10X、20X、50X。

　　存放地：F0101