所属部门：印刷电子学 

　　管理员： 张东煜 

　　联系电话：2730 

　　主要用途：真空蒸镀沉积系统可以进行多种有机、无机材料的热沉积，主要用于OLED、OPV以及OTFT等器件的制作。 

　　主要指标：本设备共有11组加热源，可进行3源共蒸，样品最大尺寸可达10x10cm²，系统自带plasma前处理，连接Browne手套箱。 

　　存放地：F0101