所属部门:印刷电子学 

  管理员: 张东煜 

  联系电话:2730 

  主要用途:本台设备主要是以电阻加热的方式实现蒸发镀膜功能的,适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜、有机膜、扫描电镜制样等。 

  主要指标:真空室的极限真空度达5×10-5 Pa10套温控有机蒸发源,4套金属电流控制蒸发源,可同时装载25mm×25mm样品四块。 

  存放地:F0101