所属部门:印刷电子学 

  管理员: 张东煜 

  联系电话:2730 

  主要用途:parylene覆膜技术广泛用于航空航天、珍贵文物、硅橡胶、密封件、磁性材料、微电子、电路板、传感器、生物医学等领域.Parylene覆膜后的产品具有极高的绝缘强度和耐高温、耐摩擦、抗酸碱腐蚀等作用 

  主要指标:极限真空度2.0x 10-2 Torr;制冷温度-90;真空泵抽速540L/min;沉积腔尺寸:Ф300x300mm 

  存放地:F0101