设备名称：无掩膜沉积设备

所属部门：印刷电子学

管理员： 张东煜

联系电话：2730

主要用途：Aerosol Jet系统可以直接打印各种固体颗粒小于500纳米的液相分散体系，主要用于印刷电子产品的各种功能层，如导体、半导体和绝缘层等，具有精度高、材料适用范围广、数控输入图案等优点。

主要指标：所打印的最小尺寸可小于10微米，可用于打印高度差在5毫米以内的非平面衬底。