品名

真空电子束镀膜机

型号

ZZS-600型

制造商

成都现代南光真空设备有限公司

主要功能

该设备属于定制型超高真空专用电子束镀膜设备，采用E型电子枪聚焦蒸发方式镀膜。适用于镀制纳米结构的金属膜、半导体膜、磁性膜、介质膜等，可镀单层膜、多层膜。在半导体碳纳米管器件加工过程中，随着对纳米器件性能的要求越来越高，现有镀膜的真空度、膜厚及均匀度等成为制约发展的重要瓶颈。因此，超高真空度下的镀膜设备成为必不可少的条件。

技术指标

1）真空腔室：600 mm（直径）×750 mm（高）；

2）极限真空度：2.0×10－6Pa；

3）阳极电压：6KV；

4）束流范围：0-750mA；

5）启动真空度：6.7×10-3Pa；

设备现状

完好

收费标准

面议

管理员

邱松

联系方式

sqiu2010@sinano.ac.cn

设备照片