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SN201804065 真空电子束镀膜机
2019-03-06| 文章来源: | 【
品名

品名

真空电子束镀膜机

型号

ZZS-600

制造商

成都现代南光真空设备有限公司

主要功能

该设备属于定制型超高真空专用电子束镀膜设备,采用E型电子枪聚焦蒸发方式镀膜。适用于镀制纳米结构的金属膜、半导体膜、磁性膜、介质膜等,可镀单层膜、多层膜。在半导体碳纳米管器件加工过程中,随着对纳米器件性能的要求越来越高,现有镀膜的真空度、膜厚及均匀度等成为制约发展的重要瓶颈。因此,超高真空度下的镀膜设备成为必不可少的条件。

技术指标

1)真空腔室:600 mm(直径)×750 mm(高);

2)极限真空度:2.0×106Pa

3)阳极电压:6KV

4)束流范围:0-750mA

5)启动真空度:6.7×10-3Pa

设备现状

完好

收费标准

面议

管理员

邱松

联系方式

sqiu2010@sinano.ac.cn

设备照片


 
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