品名

3D共聚焦显微镜

型号

VK-X250型

制造商

基恩士公司

主要功能

3D共聚焦显微镜用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。可针对如下需求开展测试：（1）精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等。

技术指标

1）光学相机（3CCD）拍摄分辨率不低于700万像素；

2）垂直方向测量范围：＞1.0mm

3）Z轴行程：50 mm

4）垂直分辨率：＜10nm

5）水平分辨率：0.2μm

设备现状

完好

收费标准

面议

管理员

邱松

联系方式

sqiu2010@sinano.ac.cn

设备照片