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| 公告通知 |
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| 2017-03-07| 文章来源： | 【大 中 小】 |
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品名 |
探针台 |
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型号 |
TS150 |
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制造商 |
旺矽科技（MPI） |
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主要功能 |
模型及制程研发的原件特性描述、失效分析（FA）、设计验证及积体电路工程、晶圆级可靠度（WLR）以及MEMS、高功率（HP）、射频及毫米波等的测量 |
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技术指标 |
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Total travel range |
180 × 230 mm (7.1 × 9.1 in) |
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Fine-travel range |
25 × 25 mm fine micrometer control |
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Fine-travel resolution |
< 1.0 µm (0.04 mils) @ 500 µm/rev |
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Planarity |
< 10 µm |
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Theta travel (standard) |
360° |
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Theta travel (fine) |
± 5.0° |
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Theta resolution |
7.5 × 10-3gradient |
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Movement |
Puck controlled air bearing stage | |
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设备现状 |
正常 |
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收费标准 |
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管理员 |
张骁骅 |
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联系方式 |
13771904040 |
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设备照片 |
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