碳纳米管制备设备(等离子体增强CVD)

    编号：SN200912339

　　所属单位内部门：先进材料部

　　联系人：李维维

　　联系电话：62872806

　　E-mail地址：wwli2014@sinano.ac.cn

　　型号：Black Magic 2-inch 

　　生产厂家：德国AIXTRON爱思强  

　　BM（Black Magic）系列系統是用於石墨烯、碳纳米管、纳米纤维和纳米线生产的整套解決方案。

    这些创新性系统以CVD和电浆增强CVD为基础。