碳纳米管外延炉     

　　编号：SN201208148 

　　所属单位内部门：先进材料部

　　联系人：李维维

　　联系电话：62872806

　　E-mail地址：wwli2014@sinano.ac.cn 

　　型号：EasyTube 3000EXT 

　　生产厂家：美国 First Nano

　　工作温度：0-1200℃   

　　压力：100mtorr-700torr  

　　可以用于4 Inch硅片上，采用常压或者低压生长模式生长不同功能的碳纳米管阵列材料