品名

固体激光器

型号

Nimma-800

制造商

 

主要功能

此仪器为激光烧蚀CVD(化学气相沉积系统)(SN200907113)附件

技术指标

(一)炉体部分:

  1、炉体功率为5 kW,炉膛长约1.5 m

  2、分三个温区,采用S型热电偶独立控温检测;

  3、满足2 英寸外径石英管的使用要求;

  4、石英管的两端为水冷不锈钢法兰,进气端法兰设有激光器石英窗口。

(二)真空系统:

  1、机组:采用分子泵机组(F110+2XZ-4);

  2、测量:宽量程为电脑数字式复合真空测量系统,测量范围: 10610-6Pa

  3、压力控制:手动针形微调阀;

  4、真空机组工作方式:

  ⑴ 系统高真空;

  ⑵ 机械泵可单独粗抽;

  5、 真空管道连接采用不锈钢硬管道及不锈钢波纹管道;

  6、 炉体真空漏率10-9PL/s,从1 个大气压到1×10-2Pa 1小时左右。

(三)气路系统

  1、 工艺气体种类:氨、氢、氧、氮、氩、甲烷六种气体;

  2、 气路部分从瓶接口开始为本机气源系统;

  3、 管道全部采用进口半导体级1/4EP 管道;

  4、 阀门进口:减压阀为美国GENTEC,其他为SWAGELOK

  5、 质量流量计:采用Brooks进口质量流量计;

  6、 质量流量计量程:氮1SLM,其余500 SCCM

  7、 质量流量计为VCR 接口。

(四)计算机控制系统

  1、采用10.4 寸彩色液晶触摸屏,模块化组件、WINDOWS 界面;

  2、多组工艺曲线存储,实时参数动态指示(温度、时间、历史曲线、工艺气体

  的流量、阀的开关状态等等)

  3、历史数据、曲线的存储调用等等;

  4、控制过程可手动可全自动;

  5、用户自行编制工艺曲线步骤,可实行等级权限管理;

  6、数据输入方式:触摸屏、键盘、鼠标等;

  7、独立监测:温度独立检测,防止意外超温等;

  8、报警警戒:超温、断水及相应气路设定的安全报警措施等;

设备现状

正常

收费标准

面议

管理员

马迅

联系方式

0512-62872629

设备照片