SN200907113 激光烧蚀CVD(化学气相沉积系统)

品名

激光烧蚀CVD（化学气相沉积系统）

型号

LCVD-50H

制造商

青岛精诚华旗

主要功能

化学气相沉积系统，材料生长

技术指标

（一）炉体部分：

1、炉体功率为5 kW，炉膛长约1.5 m；

2、分三个温区，采用S型热电偶独立控温检测；

3、满足2英寸外径石英管的使用要求；

4、石英管的两端为水冷不锈钢法兰，进气端法兰设有激光器石英窗口。

（二）真空系统：

1、机组：采用分子泵机组（F110+2XZ-4）；

2、测量：宽量程为电脑数字式复合真空测量系统，测量范围：106～10-6Pa；

3、压力控制：手动针形微调阀；

4、真空机组工作方式：

⑴ 系统高真空；

⑵ 机械泵可单独粗抽；

5、真空管道连接采用不锈钢硬管道及不锈钢波纹管道；

6、炉体真空漏率10-9PL/s，从1个大气压到1×10-2Pa约1小时左右。

（三）气路系统

1、工艺气体种类：氨、氢、氧、氮、氩、甲烷六种气体；

2、气路部分从瓶接口开始为本机气源系统；

3、管道全部采用进口半导体级1/4”EP管道；

4、阀门进口：减压阀为美国GENTEC,其他为SWAGELOK；

5、质量流量计：采用Brooks进口质量流量计；

6、质量流量计量程：氮1SLM，其余500 SCCM；

7、质量流量计为VCR接口。

（四）计算机控制系统

1、采用10.4寸彩色液晶触摸屏，模块化组件、WINDOWS界面；

2、多组工艺曲线存储，实时参数动态指示（温度、时间、历史曲线、工艺气体

的流量、阀的开关状态等等）

3、历史数据、曲线的存储调用等等；

4、控制过程可手动可全自动；

5、用户自行编制工艺曲线步骤，可实行等级权限管理；

6、数据输入方式：触摸屏、键盘、鼠标等；

7、独立监测：温度独立检测，防止意外超温等；

8、报警警戒：超温、断水及相应气路设定的安全报警措施等；

设备现状

正常

收费标准

面议

管理员

马迅

联系方式

0512-62872629

设备照片

品名	激光烧蚀CVD（化学气相沉积系统）
型号	LCVD-50H
制造商	青岛精诚华旗
主要功能	化学气相沉积系统，材料生长
技术指标	（一）炉体部分： 1、炉体功率为5 kW，炉膛长约1.5 m； 2、分三个温区，采用S型热电偶独立控温检测； 3、满足2英寸外径石英管的使用要求； 4、石英管的两端为水冷不锈钢法兰，进气端法兰设有激光器石英窗口。（二）真空系统： 1、机组：采用分子泵机组（F110+2XZ-4）； 2、测量：宽量程为电脑数字式复合真空测量系统，测量范围：106～10-6Pa； 3、压力控制：手动针形微调阀； 4、真空机组工作方式： ⑴ 系统高真空； ⑵ 机械泵可单独粗抽； 5、真空管道连接采用不锈钢硬管道及不锈钢波纹管道； 6、炉体真空漏率10-9PL/s，从1个大气压到1×10-2Pa约1小时左右。（三）气路系统 1、工艺气体种类：氨、氢、氧、氮、氩、甲烷六种气体； 2、气路部分从瓶接口开始为本机气源系统； 3、管道全部采用进口半导体级1/4”EP管道； 4、阀门进口：减压阀为美国GENTEC,其他为SWAGELOK； 5、质量流量计：采用Brooks进口质量流量计； 6、质量流量计量程：氮1SLM，其余500 SCCM； 7、质量流量计为VCR接口。（四）计算机控制系统 1、采用10.4寸彩色液晶触摸屏，模块化组件、WINDOWS界面； 2、多组工艺曲线存储，实时参数动态指示（温度、时间、历史曲线、工艺气体的流量、阀的开关状态等等） 3、历史数据、曲线的存储调用等等； 4、控制过程可手动可全自动； 5、用户自行编制工艺曲线步骤，可实行等级权限管理； 6、数据输入方式：触摸屏、键盘、鼠标等； 7、独立监测：温度独立检测，防止意外超温等； 8、报警警戒：超温、断水及相应气路设定的安全报警措施等；
设备现状	正常
收费标准	面议
管理员	马迅
联系方式	0512-62872629
设备照片