品名
探针测试一体机
型号
L-9-PD
制造商
深圳市矽电半导体设备有限公司
主要功能
单点、圆形、全芯片扫描
技术指标
1) X.Y.Z.θ工作行程:200mm、250mm、15mm、±30°
2) X.Y.Z.θ解析度分别为:0.5um、0.5um、0.5um、0.0018um°
3) X.Y重复定位精度:<±3μm
4) X.Y垂直度:<4μm /150mm
5) Z平台重复定位精度:<±3μm
6)吸盘平面度:<10μm
7)镜头:0.8X
8) CCD Camera:80万像素,1024×768 pixels
设备现状
正常
收费标准
面议
管理员
陆书龙
联系方式
0512-62872953
设备照片