单位内仪器编号：SN200911118

所属研究实验基地编号：A00B000061722

设备分类编号：120399

中文名称：金属有机物化学气相沉积机（氮化镓）

所属单位内部门：纳米器件与相关材料研究部

联系人：高宏伟

联系电话：0512-62872578

E-mail地址：hwgao2013@sinano.ac.cn

型号规格：CCS 6*2 Flip Top

生产制造厂商：爱思强

产地(国家或地区)：德国

获取方式：购置

建账日期：2009-11-11

原值（元）：

主要经费来源：

应用技术领域：新材料

主要学科领域：材料科学

主要技术指标：2英寸6片机

主要功能：GaN材料外延

主要附件：手套箱，Showerhead，loudlock，气柜部分等

机组人员-姓名：高宏伟

机组人员性别：男

机组人员出生年月：1983-08-16

机组人员学历：大本

机组人员专业职称：助理研究员（自然科学）

机组人员所学专业：微电子学

机组人员职责：管理

机组人员主要研究方向：三五族氮化物

机组人员上岗资质：合格