品名

半导体旋转冲洗机（旧）

型号

PS-3600

制造商

奥曼特

主要功能

主要用于半导体晶片，掩膜版，各种基片等多种材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。

技术指标

适用8”/200毫米最大晶圆尺寸
转子适用于Entegis/A192-81M(25pcs)花篮
旋转速度：300-2500r/min

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

管理员

魏红霞

联系方式

62872658

设备照片