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公告通知 |
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2018-06-27| 文章来源: | 【大 中 小】 |
品名
品名 |
台阶仪(旧) |
型号 |
Dektak
8 |
制造商 |
Dektak |
主要功能 |
Dektak 8台阶式探针轮廓仪,结构紧凑,可提供很高的重复性和精度。独特的X–Y方向定位系统可移动到8 x 8 inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理,还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak 8系统对于MEMS,纳米技术和半导体应用都非常方便 |
技术指标 |
台阶高度重复性:
7.5?,1σ在1um标准台阶上 最大晶圆尺寸:200mm 最大样品厚度:25.4mm(1
in.) 每次扫描数据点:最多可达60,000数据点 扫描长度范围:标配最大50mm 垂直范围:标配262um;可选1mm 最大垂直分辨率:1?
(6.55微米垂直范围下 |
设备现状 |
正常对外开放预约 |
收费标准 |
300元/h |
管理员 |
程伟 |
联系方式 |
62872658 |
设备照片 |
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