网站地图联系我们English中国科学院
 
  仪器设备
公告通知
·关于2018年端午节放假安排的通知[05.29]
·【中科院公众科学日】5月19-20日苏州纳米所:纳米黑科技,来玩么?[05.14]
·关于2018年劳动节放假安排的通知[04.08]
·关于2018年清明节放假安排的通知[03.20]
·关于中共中国科学院党组巡视组巡视苏州纳米所的公告[03.15]
  您现在的位置:首页 > 公共技术服务中心 > 仪器设备 > 加工平台
SN201712246 台阶仪(旧)
2018-06-27| 文章来源: | 【
品名

品名

台阶仪(旧)

型号

Dektak 8

制造商

Dektak

主要功能

Dektak 8台阶式探针轮廓仪,结构紧凑,可提供很高的重复性和精度。独特的X–Y方向定位系统可移动到8 x 8 inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理,还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak 8系统对于MEMS,纳米技术和半导体应用都非常方便

技术指标

台阶高度重复性: 7.5?,1σ1um标准台阶上 
最大晶圆尺寸:200mm 
最大样品厚度:25.4mm 1 in.) 
每次扫描数据点:最多可达60000数据点 
扫描长度范围:标配最大50mm 
垂直范围:标配262um;可选1mm 
最大垂直分辨率:1? (6.55微米垂直范围下

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

300/h

管理员

程伟

联系方式

62872658

设备照片


 
版权所有:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 备案序号:苏ICP备10220403号
地址:江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 邮编:215123 Email: administrator@sinano.ac.cn