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SN201712227 蒸发台(旧)
2018-06-27| 文章来源: | 【
品名

品名

蒸发台(旧)

型号

BS-ITO-600

制造商

Branchy

主要功能

电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种,是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料,使蒸发材料气化并向基板输运,在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中,被加热的物质放置于水冷的柑涡中,可避免蒸发材料与柑祸壁发生反应影响薄膜的质量。因此电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜,同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚,实现同时或分别蒸发,沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发,任何材料都可以被蒸发,不同材料需要采用不同类型的坩埚以获得所要达到的蒸发率。

技术指标

主要目前用于蒸发TiAlNiAuCrAgCu等金属薄膜,蒸发速率0.1A/s-2A/s可调,最大蒸发厚度可至200nm(其他材料正在积极推动)。一次可蒸镀六寸片6片,向下尺寸兼容,薄膜均匀性≤±5%;工作真空:8E-6Torr,温度:20-300℃

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

机时费:500/30min,材料费:Au 15/nm,其他金属1/nm

其他费用:无Au300元,有Au500元。

管理员

程伟

联系方式

62872658

设备照片



 
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