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SN201712217 ICP等离子体刻蚀机(旧)
2018-06-27| 文章来源: | 【
品名

品名

ICP等离子体刻蚀机(旧)

型号

Sigma i2L

制造商

SPTS

主要功能

三五族材料的ICP刻蚀工艺

技术指标

设备极限真空5E-5Pa

配备loadlock,工艺效率高

设备现状

正常

收费标准

2000/h

管理员

程伟

联系方式

0512-62872625

设备照片


 
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