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SN201712216 溅射台(旧)
2018-06-27| 文章来源: | 【
品名

品名

溅射台(旧)

型号

LLS EVO II

制造商

Oerlikon

主要功能

金属材料的溅射工艺,以及必要的氧化物、氮化物的反应溅射工艺;

技术指标

靶材尺寸200X230mm

可同时配备4个靶材;

本底真空优于5E-5Pa

设备现状

正常

收费标准

2000/h

管理员

程伟

联系方式

0512-62872625

设备照片


 
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