品名
溅射台（旧）
型号
LLS EVO IILLS EVO II
制造商
Oerlikon
主要功能
金属材料的溅射工艺，以及必要的氧化物、氮化物的反应溅射工艺；
技术指标
靶材尺寸200X230mm；
可同时配备5个靶材；
本底真空优于5E-5Pa；
设备现状
正常
收费标准
2000元/h
管理员
程伟
联系方式
0512-62872625
设备照片
