品名
中级电流离子注入机
型号
EHP500
制造商
Varian
主要功能
应用：被广泛应用于半导体材料掺杂、改变光学材料的折射率、提高超导材料的临界温度，表面催化、改变磁性材料的磁化强度和提高磁泡的运动速度和模拟中子辐照损伤等等领域。此外离子注入技术也广泛应用于金属、陶瓷、玻璃、复合物、聚合物、矿物以及植物种子改良上。
技术指标
注入能量：5~250kev+、250~500kev++、500~750kev+++；
倾斜角度：0~60°；注入剂量：~e16ion/cm2；
注入元素：N、Ar、Al、Mg。。。；
晶圆尺寸：6寸单片向下兼容；
束流均匀性：99.5%；
片间重复性：99.5%
腔室真空：5e-6torr。
设备现状
检修
收费标准
1600元/h
管理员
姬荣坤
联系方式
0512-62872630
设备照片
