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公告通知 |
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SN201703050 金属有机化学气相沉积机(旧) |
2018-06-27| 文章来源: | 【大 中 小】 |
品名
品名 |
金属有机化学气相沉积机(旧) |
型号 |
日酸SR4326KS |
制造商 |
大阳日酸 |
主要功能 |
GaN、AlGaN、AlN、InGaN等材料外延 |
技术指标 |
温度:1250℃压力:常压转速:30rpm
MO源:TMGa
TMAl CPMg TMIn反应室类型:水平式样品数量:3X2" |
设备现状 |
正常 |
收费标准 |
900
/单位预约时间 |
管理员 |
邓旭光 |
联系方式 |
62872879 |
设备照片 |
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