资产名称：自动台阶测量仪

规格型号：Dektak 150

工艺类别： 检测

所属单位： 加工平台

管理员： 孙国庆

用途：能测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。主要特点： 1. 台阶高度测量重复性高 2. 是功能最为强大的探针轮廓仪，可最大限度的满足各种应用需要 3. 简单易用 4. 作为一款桌面型轮廓仪，扫描范围可达200mm

主要技术指标：台阶高度重复性: 7.5?,1σ在1um标准台阶上最大晶圆尺寸：200mm 最大样品厚度：25.4mm （1 in.) 每次扫描数据点：最多可达60，000数据点扫描长度范围：标配最大50mm 垂直范围：标配262um；可选1mm 最大垂直分辨率：1? (6.55微米垂直范围下）