资产名称:激光切片机
规格型号:ML 200Plus
工艺类别: 封装
所属单位: 加工平台
管理员: 董艳
用途:通过激光将Si材料分割成一定大小的芯片,实现芯片的分割目的。
主要技术指标:激光波长为1.08um,样品尺寸小于8英寸,硅片切割厚度不超过600um,划片槽大于10um。