尾气处理器

编号：KT1000-SCRUBBER（SN201412111）

所属单位： 加工平台

管理员：张立国

状态： 正常

用途

电热水洗式尾气处理器可以有效处理在工艺制程中排放的各种工艺气体，如H2、SIH4、C3H8等，原理是通过出入口SCR水洗以及内部腔室电阻加热并通入CAD燃烧，进行气体处理。

主要技术指标

外形尺寸：W950*D950*H1950(mm)

处理流量（最大）：~250SLM(废气中含有NF3时)，~800SLM(废气中不含有NF3时)

处理温度：650-900摄氏度，(Max 950摄氏度)

处理气体：

工艺气体：SiH4; H2; NH3; PH3; SiH2CI2; SicI4; WF6; TEOS; Si2H6; TDMAT; GeH4；

OMCTS; 3MS; 4MS etc；

清洁气体：NF3，C2F6；