气体管路系统

编号：SN201412009

工艺类别： 镀膜

所属单位： 加工平台

管理员：刘彬

状态： 正常

价格：无

单位预约时间：无

用途

提供镀膜设备PECVD多路气体，控制气体流量。

主要技术指标

质量流量计量程0~3000sccm不等，依气体而异。