MA6紫外光刻机

编号：MA6 (SN201208226)

工艺类别：光刻

所属单位：加工平台

管理员：周震华

状态：正常

价格：400/30分钟

单位预约时间：30(单位:分钟)

用途

宽带光源，紫外接近，接触式光刻，可实现双面对准。最大曝光面积?φ150mm。分辨率：2μm。套刻精度：±1μm。++++++++注意：12：00前预约2、3、4、6整片工艺，12：00预约2寸或者小片工艺（片子大于10mm*10mm）+++++++++光刻预约必须预约者本人到场做工艺，不可他人替代。委托加工起约1小时

主要技术指标

样品大小：1、标准片（φ2/4/6英寸）;2、小片（大于10×10mm小于2寸);3、其它；4、晶元厚度小于3mm。光刻胶类型：1、AZ5214（厚度1.6~2.5μm，可反转）;2、AZ6112（1.0~2.0μm，正胶）;3、AZ4620（厚度8~30μm，正胶）;4、双层（底层LOR10A，20B，30B）;5、其他分辨率要求：1、大于1μm 2、小于1μm。对准要求：1、大于±1μm 2、小于±1μm。++++++++注意：12：00前预约2、3、4、6整片工艺，12：00预约2寸或者小片工艺（片子大于10mm*10mm）+++++++++光刻预约必须预约者本人到场做工艺，不可他人替代。委托加工起约1小时光刻版一定要比片子大