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SN200810036 6英寸双面对准光刻机
2014-11-25| 文章来源: | 【

 

 

6英寸双面对准光刻机

编号:MA6/BA6 (SN200810036)

工艺类别:光刻

所属单位:加工平台

管理员:龚巍

状态:正常

价格:400/30分钟

单位预约时间:30(单位:分钟)

用途

宽带光源,紫外接近,接触式光刻,可实现双面对准。最大曝光面积φ150mm。分辨率:2μm。套刻精度:±1μm+++++++++注意:1200前预约2寸或者2寸以下的小片工艺(片子大于10mm*10mm),12:00后预约2346整片工艺+++++++++工艺参数填写完整:片子大小、光刻胶类型,如未填写,审核时不予以通过!光刻预约必须预约者本人到场做工艺,不可他人替代。委托加工起约1小时

主要技术指标

样品大小:1、标准片(φ2/4/6英寸);2、小片(大于10×10mm小于2);3、其它;4、晶元厚度小于3mm。光刻胶类型:1AZ5214(厚度1.6~2.5μm,可反转);2AZ61121.0~2.0μm,正胶);3AZ4620(厚度8~30μm,正胶);4、双层(底层LOR10A20B30B;5、其他分辨率要求:1、大于1μm 2、小于1μm。对准要求:1、大±1μm 2、小于±1μm++++++++注意:1200后预约2346整片工艺,1200预约2寸或者小片工艺(片子大于10mm*10mm+++++++++光刻预约必须预约者本人到场做工艺,不可他人替代。委托加工起约1小时光刻版一定要比片子大

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