样品大小:1、标准片(φ2/4/6英寸);2、小片(大于10×10mm小于2寸);3、其它;4、晶元厚度小于3mm。光刻胶类型:1、AZ5214(厚度1.6~2.5μm,可反转);2、AZ6112(1.0~2.0μm,正胶);3、AZ4620(厚度8~30μm,正胶);4、双层(底层LOR10A,20B,30B);5、其他分辨率要求:1、大于1μm 2、小于1μm。对准要求:1、大于±1μm 2、小于±1μm。++++++++注意:12:00后预约2、3、4、6整片工艺,12:00预约2寸或者小片工艺(片子大于10mm*10mm)+++++++++光刻预约必须预约者本人到场做工艺,不可他人替代。委托加工起约1小时光刻版一定要比片子大 |