品名

PECVD系统

型号

OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL

制造商

合肥科晶材料技术有限公司

主要功能

化学气相沉积薄膜材料生长

技术指标

双温区，每个温区长200 mm

功率：4KW

电压：AC 208-240V单相, 50/60 Hz

最高工作温度：1200°C(<1 hour)

连续工作温度：1100°C

最快升温速率：≤20°C /min

炉管尺寸：Φ60

等离子发射源输出功率: 5-500W± 1% . 

等离子发射源射频频率: 13.56MHz±0.005% 

设备现状

完好

收费标准

面议

管理员

袁建

联系方式

0512-62872653

设备照片