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品名 |
探针台 |
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型号 |
EPS150COAX |
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制造商 |
康思德精密科技有限公司 |
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主要功能 |
探针台通过与半导体参数测试仪（B1500A）配合使用，实现相关测试。 |
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技术指标 |
1)载片台：6英寸直径的载片台，可独立拉出90mm；载片台活动范围不小于150mm×150mm，Z轴高度调整范围不小于10mm；XY方向控制器为一体式，可实现单手操作；载片台移动精度分辨率≤0.1μm，平坦度≤3μm，芯片为真空吸附方式。 2)显微镜系统：工作距离不小于100mm；具备影响监控系统，可观测整个测试过程。 3)探针座：探针座X与Y方向的移动范围不小于12mm；针座可实现100TPI的高精度定位测试；探针座放置台空间至少可容纳4个直流针座；多个探针座可实现联合测试，Z方向的移动范围不小于40mm。 4)屏蔽罩：含5个coaxial feedthroughs进口屏蔽罩，可以屏蔽光及电磁波的干扰。 |
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设备现状 |
完好 |
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收费标准 |
不对外开放 |
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管理员 |
徐雁 |
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联系方式 |
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设备照片 |
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