品名
研磨机
型号
36BAW
制造商
创技(南京)电子机械有限公司
主要功能
1.2~6inch晶片粗研磨
2.适用材料:GaN
技术指标
1.陶瓷载物盘直径:360mm
2. 2英寸晶片总厚度偏差TTV≤5μm
3. 2英寸晶片的材料去除率≥0.8μm /min
4. 4英寸晶片总厚度偏差TTV≤10μm
5. 4英寸晶片的材料去除率≥0.2μm /min
设备现状
正常对外开放预约
收费标准
请提前与设备管理员联系,预约时间,确认实验方案与价格。
管理员
王明月
联系方式
13584805775
设备照片