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SN201712202半导体晶片电阻率测试仪
2018-07-24| 文章来源: | 【
品名

品名

半导体晶片电阻率测试仪

型号

LEI-1510EC

制造商

LEI

主要功能

测量晶圆方块电阻、电阻率

技术指标

1.方块电阻高量程:15 Ω/□ 3000 Ω/□

2.方块电阻低量程:0.16 Ω/□ 15 Ω/□

3.方块电阻超低量程: 0.032 Ω/□ 1.6 Ω/□

4.测量探头直径为14mm

5.可测量28英寸晶圆,可测量300

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

请提前与设备管理员联系,预约时间,确认实验方案与价格。

管理员

田飞飞

联系方式

62872594

设备照片


 
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