品名
半导体晶片电阻率测试仪
型号
LEI-1510EC
制造商
LEI
主要功能
测量晶圆方块电阻、电阻率
技术指标
1.方块电阻高量程:15 Ω/□~3000 Ω/□
2.方块电阻低量程:0.16 Ω/□~15 Ω/□
3.方块电阻超低量程: 0.032 Ω/□~1.6 Ω/□
4.测量探头直径为14mm
5.可测量2至8英寸晶圆,可测量300点
设备现状
正常对外开放预约
收费标准
请提前与设备管理员联系,预约时间,确认实验方案与价格。
管理员
田飞飞
联系方式
62872594
设备照片