生产制造厂商:Veeco

　　型号规格:Dimension 3100

　　主要功能：使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术，可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。它的激光点定位系统和无需工具改变扫描技术的能力保证了仪器的适用性、易操作性和高的数据处理能力。

　　主要技术指标:扫描范围/分辨力：XY 80μm×80μm/0.1nm Z 5μm/0.01nm AFM/LFM/STM

　　联系人：钟海舰

　　联系电话：0512-62872550