生产制造厂商:德国SUSS

型号规格:SUSS PM8

主要功能:与Keithley 4200结合，测量器件I-V、C-V、脉冲I-V等

主要技术指标:具有无霜，光屏蔽，电磁干扰屏蔽；可探测最大达200mm的晶圆或衬底，XY移动平台移动范围：200x200mm，快速移动和XY-10x10mm范围内由落选千分尺精调。 手动载物台升降闸: 10mm, THETA-精调范围: ±9°。定位器平台具有真空/磁性吸附均可和手动控制闸控制定位器平台高度，接触或分离的调节，移动范围: 30mm, separation 分离闸: 0.4mm。显微镜系统水平方向移动范围: 50x50mm，Z方向移动范围: 近100mm。

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