SN201708101 感应耦合等离子增强化学气相沉积机
|
品名 |
电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICP-PECVD） |
|
型号 |
SI 500 D |
|
制造商 |
SENTECH Instruments GmbH |
|
主要功能 |
低温沉积SiOx，SiOxCyHz薄膜 |
|
技术指标 |
沉积温度室温～350 ℃ 膜厚均一性＜±5% 片间均一性＜±3% |
|
设备现状 |
良好 |
|
收费标准 |
|
|
管理员 |
李亚邦 |
|
联系方式 |
0512-62872730 |
|
设备照片 |
|
附件下载：
