SN201804065 真空电子束镀膜机
品名 |
真空电子束镀膜机 |
型号 |
ZZS-600型 |
制造商 |
成都现代南光真空设备有限公司 |
主要功能 |
该设备属于定制型超高真空专用电子束镀膜设备,采用E型电子枪聚焦蒸发方式镀膜。适用于镀制纳米结构的金属膜、半导体膜、磁性膜、介质膜等,可镀单层膜、多层膜。在半导体碳纳米管器件加工过程中,随着对纳米器件性能的要求越来越高,现有镀膜的真空度、膜厚及均匀度等成为制约发展的重要瓶颈。因此,超高真空度下的镀膜设备成为必不可少的条件。 |
技术指标 |
1)真空腔室:600 mm(直径)×750 mm(高); 2)极限真空度:2.0×10-6Pa; 3)阳极电压:6KV; 4)束流范围:0-750mA; 5)启动真空度:6.7×10-3Pa; |
设备现状 |
完好 |
收费标准 |
面议 |
管理员 |
邱松 |
联系方式 |
sqiu2010@sinano.ac.cn |
设备照片 |
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