SN200907113 激光烧蚀CVD(化学气相沉积系统)
品名 |
激光烧蚀CVD(化学气相沉积系统) |
型号 |
LCVD-50H |
制造商 |
青岛精诚华旗 |
主要功能 |
化学气相沉积系统,材料生长 |
技术指标 |
(一)炉体部分: 1、炉体功率为5 kW,炉膛长约1.5 m; 2、分三个温区,采用S型热电偶独立控温检测; 3、满足2英寸外径石英管的使用要求; 4、石英管的两端为水冷不锈钢法兰,进气端法兰设有激光器石英窗口。 (二)真空系统: 1、机组:采用分子泵机组(F110+2XZ-4); 2、测量:宽量程为电脑数字式复合真空测量系统,测量范围:106~10-6Pa; 3、压力控制:手动针形微调阀; 4、真空机组工作方式: ⑴ 系统高真空; ⑵ 机械泵可单独粗抽; 5、 真空管道连接采用不锈钢硬管道及不锈钢波纹管道; 6、 炉体真空漏率10-9PL/s,从1个大气压到1×10-2Pa约1小时左右。 (三)气路系统 1、 工艺气体种类:氨、氢、氧、氮、氩、甲烷六种气体; 2、 气路部分从瓶接口开始为本机气源系统; 3、 管道全部采用进口半导体级1/4”EP管道; 4、 阀门进口:减压阀为美国GENTEC,其他为SWAGELOK; 5、 质量流量计:采用Brooks进口质量流量计; 6、 质量流量计量程:氮1SLM,其余500 SCCM; 7、 质量流量计为VCR接口。 (四)计算机控制系统 1、采用10.4寸彩色液晶触摸屏,模块化组件、WINDOWS界面; 2、多组工艺曲线存储,实时参数动态指示(温度、时间、历史曲线、工艺气体 的流量、阀的开关状态等等) 3、历史数据、曲线的存储调用等等; 4、控制过程可手动可全自动; 5、用户自行编制工艺曲线步骤,可实行等级权限管理; 6、数据输入方式:触摸屏、键盘、鼠标等; 7、独立监测:温度独立检测,防止意外超温等; 8、报警警戒:超温、断水及相应气路设定的安全报警措施等; |
设备现状 |
正常 |
收费标准 |
面议 |
管理员 |
马迅 |
联系方式 |
0512-62872629 |
设备照片 |
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