品名

激光烧蚀CVD（化学气相沉积系统）

型号

LCVD-50H

制造商

青岛精诚华旗

主要功能

化学气相沉积系统，材料生长

技术指标

　（一）炉体部分：

　　1、炉体功率为5 kW，炉膛长约1.5 m；

　　2、分三个温区，采用S型热电偶独立控温检测；

　　3、满足2 英寸外径石英管的使用要求；

　　4、石英管的两端为水冷不锈钢法兰，进气端法兰设有激光器石英窗口。

　　（二）真空系统：

　　1、机组：采用分子泵机组（F110+2XZ-4）；

　　2、测量：宽量程为电脑数字式复合真空测量系统，测量范围： 106～10-6Pa；

　　3、压力控制：手动针形微调阀；

　　4、真空机组工作方式：

　　⑴ 系统高真空；

　　⑵ 机械泵可单独粗抽；

　　5、 真空管道连接采用不锈钢硬管道及不锈钢波纹管道；

　　6、 炉体真空漏率10-9PL/s，从1 个大气压到1×10-2Pa 约1小时左右。

　　（三）气路系统

　　1、 工艺气体种类：氨、氢、氧、氮、氩、甲烷六种气体；

　　2、 气路部分从瓶接口开始为本机气源系统；

　　3、 管道全部采用进口半导体级1/4”EP 管道；

　　4、 阀门进口：减压阀为美国GENTEC,其他为SWAGELOK；

　　5、 质量流量计：采用Brooks进口质量流量计；

　　6、 质量流量计量程：氮1SLM，其余500 SCCM；

　　7、 质量流量计为VCR 接口。

　　（四）计算机控制系统

　　1、采用10.4 寸彩色液晶触摸屏，模块化组件、WINDOWS 界面；

　　2、多组工艺曲线存储，实时参数动态指示（温度、时间、历史曲线、工艺气体

　　的流量、阀的开关状态等等）

　　3、历史数据、曲线的存储调用等等；

　　4、控制过程可手动可全自动；

　　5、用户自行编制工艺曲线步骤，可实行等级权限管理；

　　6、数据输入方式：触摸屏、键盘、鼠标等；

　　7、独立监测：温度独立检测，防止意外超温等；

　　8、报警警戒：超温、断水及相应气路设定的安全报警措施等；

设备现状

正常

收费标准

面议

管理员

马迅

联系方式

0512-62872629

设备照片