1）4英寸直径载片台，支持载片台在范围100mm×100mm范围内精确定位， Theta轴可360度旋转，精确调节范围+/- 5 度 ，载片台镀金。 

2) 载片台移动精度分辨率≤5μm，平坦度≤10μm。 

3）显微镜系统工作距离不小于13mm。配置高精度线性移动的显微镜XY方向平移台，移动范围不小于50mm x 50mm。配置2X,5X,10X,20X,50X物镜。 

4）带影像显示系统，且放大倍率不小于500倍 

5）探针座X与Y方向的移动范围不小于10 mm。 

6）针座可实现0.7微米精度的定位测试。 

7）探针座放置台空间至少可容纳2套射频针座，射频探针及射频电缆频率到40GHZ