品名

探针测试一体机

型号

L-9-PD

制造商

深圳市矽电半导体设备有限公司

主要功能

单点、圆形、全芯片扫描

技术指标

1) X.Y.Z.θ工作行程：200mm、250mm、15mm、±30°

2) X.Y.Z.θ解析度分别为：0.5um、0.5um、0.5um、0.0018um°

3) X.Y重复定位精度：<±3μm

4) X.Y垂直度：<4μm /150mm

5) Z平台重复定位精度：<±3μm

6) 吸盘平面度：<10μm

7) 镜头： 0.8X

8) CCD Camera： 80万像素，1024×768 pixels

设备现状

正常

收费标准

面议

管理员

陆书龙

联系方式

0512-62872953

设备照片