SN200911118 金属有机物化学气相沉积机(氮化镓)
单位内仪器编号:SN200911118
所属研究实验基地编号:A00B000061722
设备分类编号:120399
中文名称:金属有机物化学气相沉积机(氮化镓)
所属单位内部门:纳米器件与相关材料研究部
联系人:高宏伟
联系电话:0512-62872578
E-mail地址:hwgao2013@sinano.ac.cn
型号规格:CCS 6*2 Flip Top
生产制造厂商:爱思强
产地(国家或地区):德国
获取方式:购置
建账日期:2009-11-11
原值(元):
主要经费来源:
应用技术领域:新材料
主要学科领域:材料科学
主要技术指标:2英寸6片机
主要功能:GaN材料外延
主要附件:手套箱,Showerhead,loudlock,气柜部分等
机组人员-姓名:高宏伟
机组人员性别:男
机组人员出生年月:1983-08-16
机组人员学历:大本
机组人员专业职称:助理研究员(自然科学)
机组人员所学专业:微电子学
机组人员职责:管理
机组人员主要研究方向:三五族氮化物
机组人员上岗资质:合格
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