单位内仪器编号：SN200910052

所属研究实验基地编号：A00B000061722

设备分类编号：120399

中文名称：金属有机物化学气相沉积机（砷化镓）

所属单位内部门：纳米器件与相关材料研究部

联系人：赵勇明

联系电话：0512-62872671

E-mail地址：ymzhao2009@sinano.ac.cn

型号规格：AIX 200/4 3*2"

生产制造厂商：德国Aixtron

产地(国家或地区)：德国

获取方式：购置

建账日期：2009-11-05 

应用技术领域：新材料

主要学科领域：材料科学；物理学

主要技术指标：水平旋转式反应室（使反应室气流更加均匀，旋转使材料外延厚度更加均匀）、2寸3片或者4寸1片实现多片生长

主要功能：外延生长

主要附件：石墨盘，石英反应管，计算机控制系统，尾气处理系统

机组人员-姓名：赵勇明

机组人员性别：男

机组人员出生年月：1981-01-30

机组人员学历：硕士研究生

机组人员专业职称：助理研究员（自然科学）

机组人员所学专业：微电子学

机组人员职责：管理

机组人员主要研究方向：微电子学

机组人员上岗资质：有