品名

扫描电子显微镜（含能谱仪）

型号

Nova NanoSem 450

制造商

美国FEI

主要功能

快速高分辨的表面显微结构成像；快速的元素分析表征

技术指标

工作压力： 高真空（6×10-4Pa）
电子束分辨率：≤1.0nm @ 15kV ≤1.4nm @ 1kV（二次电子）
着陆电压：50V-20kV
电子束流强度：0.6pA-200nA
能谱探测器：场效应管(FET)内置的高速SDD芯片，晶体有效检测面积60mm2
分析元素范围：Be4~U92
能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV

设备现状

收费标准

管理员

黄增立

联系方式

18625081351

设备照片