品名

台阶仪（旧）

型号

Dektak 8

制造商

Dektak

主要功能

Dektak 8台阶式探针轮廓仪，结构紧凑，可提供很高的重复性和精度。独特的X–Y方向定位系统可移动到8 x 8 inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak 8系统对于MEMS，纳米技术和半导体应用都非常方便

技术指标

台阶高度重复性: 7.5？,1σ在1um标准台阶上 
最大晶圆尺寸：200mm 
最大样品厚度：25.4mm（1 in.) 
每次扫描数据点：最多可达60，000数据点 
扫描长度范围：标配最大50mm 
垂直范围：标配262um；可选1mm 
最大垂直分辨率：1？ (6.55微米垂直范围下

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

300元/h

管理员

程伟

联系方式

62872658

设备照片