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SN201712217 ICP等离子体刻蚀机(旧)
发布时间:2018-06-27
发布时间:2018-06-27 | 文章来源: | 【 大 中 小 】 | 【打印】 【关闭】
品名
ICP等离子体刻蚀机(旧)
型号
Sigma i2L
制造商
SPTS
主要功能
三五族材料的ICP刻蚀工艺
技术指标
设备极限真空5E-5Pa;
配备loadlock,工艺效率高;
设备现状
正常
收费标准
2000元/h
管理员
程伟
联系方式
0512-62872625
设备照片
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