品名

ICP等离子体刻蚀机（旧）

型号

Sigma i2L

制造商

SPTS

主要功能

三五族材料的ICP刻蚀工艺

技术指标

设备极限真空5E-5Pa；

配备loadlock，工艺效率高；

设备现状

正常

收费标准

2000元/h

管理员

程伟

联系方式

0512-62872625

设备照片