品名

溅射台（旧）

型号

LLS EVO II

制造商

Oerlikon

主要功能

金属材料的溅射工艺，以及必要的氧化物、氮化物的反应溅射工艺；

技术指标

靶材尺寸200X230mm；

可同时配备4个靶材；

本底真空优于5E-5Pa；

设备现状

正常

收费标准

2000元/h

管理员

程伟

联系方式

0512-62872625

设备照片