SN201703051 金属有机化学气相沉积机（旧）
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品名 |
金属有机化学气相沉积机（旧） |
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型号 |
日酸SR4326KS |
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制造商 |
大阳日酸 |
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主要功能 |
GaN、AlGaN、AlN、InGaN等材料外延。 |
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技术指标 |
温度：1250℃压力：常压转速：30rpm MO源：TMGa TMAl CPMg TMIn反应室类型：水平式样品数量：3X2" |
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设备现状 |
正常 |
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收费标准 |
900 /单位预约时间 |
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管理员 |
邓旭光 |
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联系方式 |
62872879 |
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设备照片 |
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