品名

电子束蒸发台（旧）SN201511284

型号

solution

制造商

CHA

主要功能

主要用于蒸发高纯Ag、Al、Au、Cr、Cu、Ti等金属薄膜，或其随机组合。单次可蒸镀四寸样片6片，向下尺寸兼容，薄膜不均匀性≤±5%。

技术指标

极限真空2E-7Torr，大气抽真空至4.8E-6Torr约30分钟。高压0-10KV，金属蒸发速率0.1A/s-20A/s可调，最大蒸发厚度可至1000nm。

设备现状

正常

收费标准

300元/30min

管理员

程伟

联系方式

62872658

设备照片